潔凈室表面導(dǎo)靜電性能的檢測(cè)
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R.9.1 地面、墻面和工作臺(tái)面等表面導(dǎo)靜電性能的檢測(cè)環(huán)境溫度應(yīng)在15℃~35℃之間,相對(duì)濕度在45%~70%。
E.9.2 地面、墻面和工作臺(tái)面等表面導(dǎo)靜電性能應(yīng)采用符合精度要求的高阻計(jì)檢測(cè)。
E.9.3 在表面上人活動(dòng)區(qū)域選定的一組2點(diǎn)間或幾組2點(diǎn)間檢測(cè),可選用圖E.9.3的測(cè)試裝置。
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