2.0.1潔凈室clean room 
空氣懸浮粒子濃度受控的房間.它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入,產(chǎn)生及滯留
粒子.室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度,壓力等按要求進(jìn)行控制. 
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone 
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間.它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入,產(chǎn)生
及滯留粒子.空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度,壓力等按要求進(jìn)行控制.潔凈區(qū)
可以是開(kāi)放式或封閉式. 
2.0.3 移動(dòng)式潔凈小室 clean booth 
可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室.有剛性或薄膜圍檔兩類. 
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body 
人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間. 
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material 
物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間. 
2.0.6 粒徑 partical size 
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑.對(duì)離散粒子計(jì)
數(shù),光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑. 
2.0.7 懸浮粒子 airborne particles 
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒
子. 
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle 
具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子. 
2.0.9 微粒子 macroparticle 
具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子. 
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution 
粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數(shù). 
2.0.11 含塵濃度 particle concentration 
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù).
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度. 
2.0.13 氣流流型 air pattern 
對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì). 
2.0.14 單向流 unidirectional airflow 
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流. 
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow 
與水平面垂直的單向流. 
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow 
與水平面平行的單向流. 
2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow 
凡不符合單向流定義的氣流. 
2.0.18 混合流 mixed airflow 
單向流和非單向流組合的氣流. 
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area 
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域. 
2.0.20 空氣吹淋室 air shower 
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室. 
2.0.21 氣閘室air lock 
設(shè)置在潔凈室出入口,阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間. 
2.0.22 傳遞窗 pass box 
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開(kāi)口.兩側(cè)裝有不能同時(shí)開(kāi)啟的窗
扇. 
2.0.23 潔凈工作臺(tái) clean bench 
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái). 
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment 
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝. 
2.0.25 空態(tài) as-built 
設(shè)施已經(jīng)建成,所有動(dòng)力接通并運(yùn)行,但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備,材料及人員. 
2.0.26 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行,但無(wú)
生產(chǎn)人員.
2.0.27 動(dòng)態(tài) operational 
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場(chǎng),并在商定的狀況下進(jìn)行工作. 
2.0.28 檢漏試驗(yàn) leakage test 
檢查空氣過(guò)濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗(yàn). 
2.0.29 高效空氣過(guò)濾器 HEPA(high efficiency particulate airfilter) 
在額定風(fēng)量下,對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻
力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器. 
2.0.30 超高效空氣過(guò)濾器 ULPA(ultra low penetration airfilter) 
在額定風(fēng)量下,對(duì)粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力
在280Pa以下的空氣過(guò)濾器. 
2.0.31 純水 purity water 
對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒,有機(jī)物,細(xì)菌和
溶解氣體等)含量均有要求的水. 
2.0.32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment 
能防止靜電危害的特定環(huán)境,在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電,靜電產(chǎn)生后易于消
散或消除,靜電噪聲難以傳播. 
2.0.33 表面電阻 surface resistance 
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商. 
2.0.34 體積電阻 volume resistance 
在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電
流之商.該電流不包括沿材料表面的電流. 
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity 
在材料表面層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商.其量綱為Ω/□. 
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity 
在材料內(nèi)層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商.其量綱為Ω·cm. 
2.0.37 專用消防口 fire-firing access 
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口,平時(shí)封閉,使用時(shí)由消防人員從室
外打開(kāi). 
2.0.38 自凈時(shí)間 cleanliness vecoverly characteristic
潔凈室被污染后,凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)
的時(shí)間.
2.0.39 生物潔凈室 biological cleanroom 
潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間. 
2.0.40 浮游菌 airborne viable particles 
潔凈室懸浮在空氣中的菌落. 
2.0.41 沉降菌 colony forming unit 
潔凈室降落在培養(yǎng)皿上的菌落.