包括一大型潔凈空間及回風(fēng)通道；大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間、潔凈空間和循環(huán)空間，所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備；所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板，使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間；在所述潔凈空間內(nèi)相對于所述密閉空間的位置設(shè)有至少1個(gè)回風(fēng)柱，所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通，其底端與高架地板連通；所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型解決了生產(chǎn)輔助設(shè)備易產(chǎn)生泄漏的問題；與此同時(shí)，在潔凈空間內(nèi)相對于所述密閉空間的位置設(shè)置多個(gè)回風(fēng)柱，通過回風(fēng)柱實(shí)現(xiàn)氣流循環(huán)，同時(shí)還充分利用了其內(nèi)的潔凈空氣，而且降低了消耗。    

現(xiàn)代藥廠潔凈廠房--空氣過濾器，以建造單層大框架正方形大面積廠房最佳。其顯著優(yōu)點(diǎn)是外墻面積最小、能耗低，可節(jié)約建筑、冷熱負(fù)荷的投資和設(shè)備運(yùn) 轉(zhuǎn)費(fèi)用。另外，可控制和減少窗墻比，加強(qiáng)門窗構(gòu)造的氣密性。此外，在有高溫差的潔凈室設(shè)置隔熱層，圍護(hù)結(jié)構(gòu)采用隔熱性能和氣密性好的材料及構(gòu)造，建筑外墻 內(nèi)側(cè)采用保溫或夾芯保溫復(fù)合墻板；在濕度控制房間設(shè)置有良好防潮性能的密封室：這些措施均能達(dá)到節(jié)能的目的。

 1.一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，包括新風(fēng)輸送系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)和一大型潔凈空間及回風(fēng)通道； 所述大型潔凈空間從上到下包括架構(gòu)空間(4)、潔凈空間(5)和循環(huán)空間(6)，架構(gòu)空間和潔凈空間之間設(shè)有天花板(7)，潔凈空間和循環(huán)空間之間設(shè)有高架地板(2)和混凝土板(3);所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)有生產(chǎn)輔助設(shè)備；其特征在于: 所述循環(huán)空間內(nèi)設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備的區(qū)域的四周均設(shè)有隔板(8)，使其構(gòu)成獨(dú)立的密閉空間；循環(huán)空間內(nèi)還設(shè)有連通管，連通管的一端與所述密閉空間連通，另一端與潔凈室的外界連通； 在所述潔凈空間內(nèi)相對于所述密閉空間的位置設(shè)有至少I個(gè)回風(fēng)柱(9)，所述回風(fēng)柱的頂端與架構(gòu)空間連通，其底端與高架地板連通； 所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有風(fēng)機(jī)(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述架構(gòu)空間和高架地板內(nèi)相對于所述密閉空間的位置均設(shè)有第二隔板(11)，使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間，以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的潔凈室，其特征在于:所述架構(gòu)空間、高架地板和潔凈空間內(nèi)相對于所述密閉空間的位置均設(shè)有第二隔板，使所述密閉空間上方的架構(gòu)空間、潔凈空間，以及高架地板所在的空間構(gòu)成獨(dú)立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述密閉空間的頂端設(shè)有密封板(12)，所述密封板設(shè)于高架地板和混凝土板之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述回風(fēng)柱內(nèi)設(shè)有干盤管(13)。

    減少潔凈空間體積

    潔凈空間的減少，意味著風(fēng)量比、換氣次數(shù)、送風(fēng)動(dòng)力消耗都隨之降低。潔凈室每平方米耗能是普通空調(diào)辦公樓的10~30倍。若減少潔凈體積30％，可節(jié)能25％。又由于1萬級潔凈區(qū)電耗是10萬級的2.5倍，因此，企業(yè)應(yīng)按不同的空氣潔凈度等級要求分別集中布置，空氣過濾器盡最大努力減少潔凈室特別是高級別潔凈室的面積，同時(shí)，應(yīng)使?jié)崈舳纫蟾叩臐崈羰夜こ瘫M量靠近空調(diào)機(jī)房，以減少管線長度，降低能量損耗。

    合理設(shè)計(jì)空氣潔凈等級

    在藥廠潔凈室設(shè)計(jì)中，對空氣潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)的確定，應(yīng)在保證生產(chǎn)質(zhì)量的前提下，綜合考慮工藝生產(chǎn)能力、設(shè)備的大小、操作方式和前后生產(chǎn)工序的連接方式、操 作人數(shù)、設(shè)備自動(dòng)化程度、設(shè)備檢修空間、設(shè)備清洗方式等因素，以降低投資和運(yùn)行費(fèi)用，達(dá)到節(jié)能要求。一是按生產(chǎn)要求確定凈化等級，如對注射劑稀配可定為1 萬級，而濃配對環(huán)境要求不高，可定為10萬級。二是對潔凈度要求高、操作崗位相對固定的場所使用局部凈化措施。如大輸液的灌封等可在1萬級背景下局部 100級的生產(chǎn)環(huán)境內(nèi)操作。三是允許隨生產(chǎn)條件的變化調(diào)整生產(chǎn)環(huán)境潔凈要求。如注射劑稀配1萬級，當(dāng)采用密閉系統(tǒng)時(shí)生產(chǎn)環(huán)境可為10萬級。