潔凈室施工和材料

E．1  選材

E．1．1  概述

    設(shè)施施工用材料選擇和使用應(yīng)符合設(shè)施的要求，并應(yīng)考慮下述幾項(xiàng)內(nèi)容：

a)  潔凈等級(jí)；

b)  磨損作用和影響；

c)  清潔衛(wèi)生方法和頻率；

d)  化學(xué)/微生物的侵襲和腐蝕。

    容易斷裂或脫落粒子的材料只有在有效封閉和保護(hù)的情況下才可采用。

    應(yīng)考慮各種材料與設(shè)施的使用要求的化學(xué)相容性。這可能會(huì)影響對(duì)飾面用的粘附材料和密封膠的選擇，或者是過(guò)濾器組件和密封膠的選擇。

    與送入潔凈室或潔凈區(qū)的空氣相接觸的各個(gè)表面，由于其性質(zhì)和情況不同，都可能會(huì)污染送入敏感區(qū)的空氣質(zhì)量。為此，應(yīng)以苛刻的要求考慮全部空氣處理系統(tǒng)的內(nèi)表面。在受控區(qū)內(nèi)的設(shè)備和陳設(shè)的所有外露的兩面都應(yīng)符合設(shè)施外露的結(jié)構(gòu)件的標(biāo)準(zhǔn)。具體的性能標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)說(shuō)明如下。

E．1．2  表面清潔度和建筑材料的可清潔性

    所有外露的材料都應(yīng)適于進(jìn)行有效的清潔和消毒。兩面不能粗糙或多孔，否則會(huì)存留微粒和化學(xué)污染物，或?qū)е挛⑸镂廴?。?/span>ISO/DIS14698-1、ISO/DIS14698-3和本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的其他相關(guān)部分中對(duì)清潔和消毒規(guī)程的選擇、使用和控制進(jìn)行了說(shuō)明。應(yīng)該選擇鑒定和監(jiān)督表面清潔度（如，可以釋放的微粒、生物和化學(xué)污染）的適當(dāng)方法，并確認(rèn)是否符合應(yīng)用。選擇外露的材料時(shí)，應(yīng)適當(dāng)考慮是否能抗住清潔和消毒方法的機(jī)械和化學(xué)作用，能否保持光滑、無(wú)孔、耐磨、耐污斑（見(jiàn)E.1.4和E.3.3）。

    潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)的墻、吊頂?shù)脑O(shè)計(jì)和施工應(yīng)該保證易于清潔表面。通常這些表面是指墻、地面、吊頂、門(mén)、空氣散流器的入口側(cè)和地漏等（見(jiàn)附錄G中的例子）。

    如果必須經(jīng)常擦或清洗墻、地面和吊頂時(shí)，選擇材料時(shí)同樣應(yīng)考慮接縫和連接等細(xì)部，特別要注意防止表面上有能存留水分的地方。

E．1．3  靜電帶電和放電的控制

注1  靜電荷的聚集和其后的放電會(huì)引發(fā)有害的危險(xiǎn)，如爆炸（在有粉末或氣體存在時(shí)）、設(shè)備損壞（如電子或光學(xué)部件），或把過(guò)量的粒子或微生物污染吸收到表面上。

    對(duì)上術(shù)危險(xiǎn)需要引起關(guān)注的情況下，設(shè)施施工用的材料既不能產(chǎn)生、也不能持有大量的靜電荷。靜電荷量是依各種應(yīng)用而異，應(yīng)該由買(mǎi)方明確加以規(guī)定。某些加工過(guò)程為盡量減少靜電荷的生成，可能有特殊的條件要求，如環(huán)境濕度。附錄F對(duì)這種技術(shù)提供了進(jìn)一步的指導(dǎo)說(shuō)明。應(yīng)該注意的是，避免聚集靜電荷的最佳濕度可能會(huì)與工藝的其它要求或項(xiàng)目目標(biāo)相沖突。應(yīng)該商定一個(gè)對(duì)兩方面都可接受的方案。某些應(yīng)用可能要求使用導(dǎo)電的或靜電耗散的材料，降低感應(yīng)靜電荷的影響。為保護(hù)對(duì)靜電敏感的部件，接地電阻的范圍應(yīng)規(guī)定為R_E=10⁴Ω-10⁷Ω。應(yīng)注意保護(hù)人員，防止發(fā)生觸電事故。應(yīng)該考慮接地，現(xiàn)場(chǎng)過(guò)渡電阻R_ST=5 X 10⁴Ω（現(xiàn)場(chǎng)過(guò)渡電阻R_ST=5 X 10⁴Ω與比電阻R_E=10⁴Ω-10⁷Ω之間的值是“理想”的電阻范圍）。

注2  地面油面層要求的電特性對(duì)整個(gè)結(jié)構(gòu)或作為一整個(gè)地面的綜合材料來(lái)講是有效的，但要不時(shí)地進(jìn)行測(cè)量，對(duì)隨著老化而產(chǎn)生的性能損耗進(jìn)行監(jiān)督。適用于表面聚集電荷的限值2KV，不得超過(guò)此值。

E．1．4  內(nèi)部飾面層、可持續(xù)性及可維護(hù)性

完工后的設(shè)施內(nèi)，所有表面都應(yīng)適當(dāng)裝飾，保證光滑、無(wú)孔、無(wú)裂縫、空穴和突紋處。設(shè)計(jì)和施工應(yīng)該保證盡量減少會(huì)聚集污染的空穴、突紋等類(lèi)似物的數(shù)目。角落，特別是內(nèi)角的數(shù)目也應(yīng)控制在最少。角落和接縫可以作成圓弧形，特別是地面-墻及墻-墻的接縫，便于有效地清潔。表面飾層要與所采用的清潔和消毒法之機(jī)械和化學(xué)作用相容。

內(nèi)部裝飾材料應(yīng)能保持持久，保證其性能質(zhì)量能與設(shè)施的潔凈度等級(jí)長(zhǎng)久地保持一致。要求制訂定期維護(hù)和修理的規(guī)程。關(guān)于維護(hù)和維修的方法及破損千萬(wàn)的影響應(yīng)成為選材料標(biāo)準(zhǔn)的一部分。通過(guò)維護(hù)和維修，應(yīng)能恢復(fù)原始狀態(tài)的質(zhì)量。應(yīng)該考慮確定達(dá)到使用有效期的成本和污染風(fēng)險(xiǎn)分析規(guī)程。

E．2  關(guān)于各種部件

E．2．1  吊頂、墻和樓面

E．2．1．1  基礎(chǔ)要求

    吊頂、墻和樓面的構(gòu)件應(yīng)該遵循消防、隔聲和隔熱等相關(guān)的規(guī)定。表面飾層和裝配細(xì)節(jié)應(yīng)與規(guī)定的清潔方法相容。為避免眩光，應(yīng)考慮表面顏色和飾層與照明的相互作用。氣閘、更衣室和材料傳送處的要求應(yīng)至少與其服務(wù)的高潔凈區(qū)相同。對(duì)傳送設(shè)備和材料的氣閘，可能還應(yīng)要求特殊的去污染和“徹底清潔”規(guī)程。

注  建造潔凈室用的可行的材料和方法有多種，從現(xiàn)場(chǎng)建設(shè)到全部預(yù)制、現(xiàn)場(chǎng)裝配。下面為幾種基本方式，可供選擇：

a)  現(xiàn)場(chǎng)建造：

1)  外表面飾層的濕法施工，

2)  外表面飾層的干法施工。

b)  現(xiàn)場(chǎng)裝配：

1)  預(yù)制表面飾層的預(yù)制部件，

2)  標(biāo)準(zhǔn)型預(yù)制表面飾層的復(fù)合板系統(tǒng)。

也可綜合使用上述方法。

選擇一個(gè)設(shè)施的建造方法時(shí)，應(yīng)該考慮的不僅有污染控制和使用要求，還有與建設(shè)地點(diǎn)有關(guān)的問(wèn)題（如是否有施工和裝修的熟練技能）；容納設(shè)施的建筑主體，如高度、承載能力、結(jié)構(gòu)的偏差；維護(hù)方面的限制及要求“可行走的吊頂”等要求。

E．2．1．2  吊頂

    吊頂應(yīng)密封，防止由空氣從吊頂空穴處攜帶進(jìn)粒子或其它污染物。裝在吊頂中的過(guò)濾器、過(guò)濾器框架、外殼和散流器都應(yīng)密封。穿洞點(diǎn)（如公用設(shè)施、噴淋、照明用）的數(shù)目應(yīng)盡可能少、并且密封。還應(yīng)考慮照明、噴淋等部件的位置和構(gòu)造，避免干擾氣流。

E．2．1．3  墻和墻系統(tǒng)

    材料和表面飾層應(yīng)符合其應(yīng)用的一般要求。在輪車(chē)、推車(chē)和攜帶材料的人頻繁通行、極易與墻、門(mén)等外露表面接觸的地方要特別注意耐沖擊和耐磨損的問(wèn)題。適宜的防磨條或防護(hù)杠有利于保護(hù)易受損的材料。

    有些應(yīng)用可能要求墻或墻板密封，防止與周?chē)h(huán)境相互污染。板之間的蓋條或密封應(yīng)該光滑、圓邊（有時(shí)會(huì)要求齊平裝配），便于有效的清潔和限制污染滯留。應(yīng)特別注意公用設(shè)施或其它穿洞的光滑和有效密封。

    墻或門(mén)要求有玻璃窗時(shí)，就采用非開(kāi)啟型的。應(yīng)考慮使用氣密的雙層窗，兩面都可以齊平安裝。如要求用遮簾或百葉，應(yīng)該裝在受控區(qū)外面或雙層玻璃窗之間。不要求齊平安裝時(shí)，窗框也應(yīng)光滑、圓邊。

    門(mén)應(yīng)該盡量少有水平面。門(mén)的表面還應(yīng)特別注意減少突紋。應(yīng)避免使用門(mén)坎。應(yīng)盡量減少門(mén)的機(jī)械部件（如栓、鎖、絞頁(yè)）的磨損，以及門(mén)與框、與地面之間的磨損。要求用門(mén)柄時(shí)，門(mén)柄要光滑、加工精細(xì)、易于清潔。在接觸污染的地方，應(yīng)考慮用推板或自動(dòng)開(kāi)門(mén)裝置。

E．2．1．4  地面

    地面或地面覆層應(yīng)無(wú)孔、防滑、耐磨、必要時(shí)導(dǎo)電；并對(duì)工作中會(huì)遇到的化學(xué)品（清洗和消毒產(chǎn)品，及溢出的加工流體）有抗性，并易于清潔。地面應(yīng)支撐靜負(fù)荷和動(dòng)負(fù)荷，并持久耐用。整個(gè)地面應(yīng)具有搞靜電特性。

E．2．2  空氣處理系統(tǒng)

    為防止過(guò)濾系統(tǒng)承載過(guò)大的負(fù)荷，應(yīng)注意盡力減少由空氣處理系統(tǒng)產(chǎn)生、釋放并存留在所有與空氣接觸的部件或表面上的污染。例如，風(fēng)管應(yīng)該用防腐、不脫屑的材料制造，或者進(jìn)行適當(dāng)?shù)谋砻嫣幚矸乐刮廴疚飶娘L(fēng)管脫落到空氣中。

E．2．3  氣閘和更衣室中的組裝部件

    氣閘和更衣室中的組裝部件應(yīng)盡量減少水平表面。例如，應(yīng)考慮使用吊軌和多孔架板，不用密閉的衣柜。外露表面的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)與受控區(qū)內(nèi)部的標(biāo)準(zhǔn)相同，并且還可增加保證耐用性的技術(shù)要求。

E．2．4  輔助區(qū)

    輔助區(qū)除了緊急出口外，不應(yīng)與潔凈室直接相連。區(qū)內(nèi)的外露表面應(yīng)該選擇具有耐久性和易于維護(hù)的。

E．3  施工和組裝

E．3．1  概述

    施工工程應(yīng)遵循圖紙和技術(shù)要求及商定的質(zhì)量計(jì)劃。施工期間要求的任何變更都應(yīng)檢查認(rèn)可、批準(zhǔn)并以文件證明，然后才可實(shí)施（見(jiàn)附錄C中的例子）。

E．3．2  施工期間的材料管理

    施工中用的和以后設(shè)施維護(hù)用的各種部件和材料，其制造、包裝、運(yùn)輸、貯存和檢驗(yàn)都要注意保證適合其使用目的。

E．3．3  施工和啟動(dòng)期間的潔凈度和清潔

    施工和組裝過(guò)程中，很多工作本身就產(chǎn)生污染。應(yīng)該制訂并執(zhí)行清潔施工協(xié)議，以達(dá)到規(guī)定的污染控制目標(biāo)。特別應(yīng)該注意工作的時(shí)間安排，污染最大的工作應(yīng)該先于污染較小的或?qū)ξ廴据^敏感的工作完成。

    施工期間，應(yīng)采取措施保證組裝和施工中產(chǎn)生的污染物及時(shí)隔離、運(yùn)走，減少對(duì)周?chē)h(huán)境的污染。貯存方法可用臨時(shí)性屏障、墻、對(duì)臨界區(qū)加壓，及預(yù)防性地使用空氣處理系統(tǒng)中臨時(shí)“獻(xiàn)身”的過(guò)濾器。這種過(guò)濾器是用于保護(hù)空間清潔（清潔環(huán)境和空氣處理系統(tǒng)）免受外部污染，并可以初始加壓和使用在建造批準(zhǔn)前和其后的設(shè)施使用前的商定階段或啟動(dòng)階段，就要用適當(dāng)?shù)燃?jí)的過(guò)濾器把這種過(guò)濾器更換下來(lái)。應(yīng)按照規(guī)定制訂計(jì)劃，持續(xù)地或頻繁地清潔和控制，阻止污染聚集在設(shè)施內(nèi)的任何部分，并便于在啟動(dòng)前進(jìn)行實(shí)質(zhì)性的最后的清潔（見(jiàn)第6條和E．1．2）。

E．4  施工材料和特性實(shí)例

    潔凈室建筑材料的實(shí)例列在表E.1中。該表不是詳盡完整的。

表E.1——適用的潔凈室建筑材料實(shí)例