潔凈室空氣潔凈度等級(jí)計(jì)算的應(yīng)用實(shí)例

D．1  例1

D．1．1

     被測(cè)的潔凈室面積（A）為80m²。需要確定其在動(dòng)態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮規(guī)定的懸浮粒子潔凈度等級(jí)。該潔凈室規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)為ISO Class 5（5級(jí)）。

D．1．2

     規(guī)定了2個(gè)被考慮粒徑：0.3μm (D₁)和0.5(D₂) μm

a)2個(gè)粒徑都在ISO Class 5的粒徑范圍之內(nèi)，（見(jiàn)3.3c）和表1:0.1μm≤0.3μm,0.5μm≤5μm

b)被考慮的二個(gè)粒徑是否符合粒徑比要求，D₂≥1.5 X D₁（見(jiàn)3.3c）:0.5μm≥(1.5 X 0.3μm=0.45μm), 是符合的。

D．1．3

    按照公式（1）計(jì)算最大允許懸浮粒子濃度

≥0.3μm(D₁)的粒子

                                               (D.1)

四舍五入為10200pc/m³

≥0.5μm (D₂)的粒子

                                               (D.2)

四舍五入為3520 pc/m³

D．1．4

                                                 (D.3)

因此，最少采樣點(diǎn)數(shù)為9個(gè)。由于采樣點(diǎn)數(shù)少于10，按附錄C計(jì)算95%置信上限是適用的。

D．1．5

     單次采樣量V_s以升計(jì)，按公式（B.2）計(jì)算（見(jiàn)B.4.2.1）

                                                               (D.4)

結(jié)果大于2L，選擇的采樣量為28L/min的采樣儀器（離散粒子計(jì)數(shù)和光散射儀器通用的流量）這一選擇的依據(jù)是：

a) V_s >2L(見(jiàn)B4.2.2)

b) C_n.m >20pc/m³(見(jiàn)B.4.2.1)

c)采樣時(shí)間>1分鐘(見(jiàn)B.4.2.2)

D．1．6

     在各采樣點(diǎn)，只取一次采樣量（28升）（B.4.2.1）。測(cè)量中得到的計(jì)數(shù)記錄如下（B.5.1.1）。

D．1．7 

     按原始數(shù)據(jù)（D．1．6）計(jì)算粒子pc/m³，X_i  ：

0.3μm和0.5μm計(jì)算出的濃度值均低于D．1．3中確定的限值，滿足了等級(jí)的第一部分（B．6．1）要求，因此可以按附錄C進(jìn)行95%的置信上限的計(jì)算。

D．1．8 

     按公式（C．1）計(jì)算平均濃度（見(jiàn)C．2）是不適用的，因?yàn)椴杉牧渴菃未尾蓸恿?，代表各個(gè)點(diǎn)的平均粒子濃度。平均值的總均值要按公式（C．2）計(jì)算（見(jiàn)C．3．2）。

≥0.3μm的粒子：

       （D.5）

四舍五入為6349 pc/m³

≥0.5μm的粒子：

                                          （D.6）

四舍五入為706 pc/m³

D．1．9

     按公式（C.3）計(jì)算采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差（見(jiàn)C.3.3）。

≥0.3μm的粒子：

              （D.7）

                                                          (D.8)

四舍五入為 2154pc/m³

≥0.5μm的粒子：

                           （D.9）

                                                                      (D.10)

四舍五入為 382pc/m³

D．1．10

     按公式（C.4）計(jì)算95%置信上限(UCL)（見(jiàn)C.3.4）.單個(gè)平均值采樣點(diǎn)數(shù)m=9,取自表C.1中的分布系數(shù)t=1.9。

                                         (D.11)

四舍五入為 7713pc/m³

                                     (D.12)

四舍五入為 948pc/m³

D．1．11

     按B.6.1對(duì)結(jié)果進(jìn)行整理。在D.1.7中各單次采樣量的粒子濃度低于規(guī)定的等級(jí)限值。在D.1.10中，計(jì)算出的95%置信上限值同樣低于在D.1.3中規(guī)定的等級(jí)限值。

    因此，該潔凈室的懸浮粒子潔凈度符合要求的級(jí)別。

D．2  實(shí)例2

D．2．1

    本示例目的在于證實(shí)95%UCL的計(jì)算對(duì)結(jié)果的影響。

    某一潔凈室規(guī)定懸浮粒子潔凈度為ISO 3級(jí)，動(dòng)態(tài)，采樣點(diǎn)數(shù)定為5個(gè)。由于采樣點(diǎn)數(shù)多于1個(gè)，少于10個(gè)，應(yīng)按附錄C計(jì)算95%置信上限。

    只考慮一種粒徑（D≥0.1μm）。

D．2．2

    ISO 3級(jí)，粒徑≥0.1μm，從表1中取粒子濃度限值：

C_n（≥0.1μm）= 1000 pc/m³

D．2．3

     在各采樣點(diǎn)僅單次采樣，按（B.5.1.1）記錄各點(diǎn)的粒子濃度X_i pc/m³，并記錄如下。

                采樣點(diǎn)                X_i≥0.1μm

                  1                      926

                  2                      958

                  3                      937

                  4                      963

                  5                      214

D=0.1μm時(shí)各粒子濃度值小于D.2.2中確定的限值。這個(gè)結(jié)果滿足了等級(jí)的第一部分（B.6.1），因此可以按附錄C進(jìn)行95%置信上限的計(jì)算。

D．2．4

    平均值的總均值要按公式（C.2）計(jì)算(見(jiàn)C.3.2)。

                                        (D.13)

D．2．5

    按公式（C.3）計(jì)算采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)誤差（見(jiàn)C.3.3）：

四舍五入為107393                                                 （D.14）

                                                        (D.15)

    四舍五入為328 pc/m³

D．2．6

     按公式（C.4）計(jì)算95%置信上限(UCL)(見(jiàn)C.3.4)：

     單個(gè)平均值m=5,取自表C.1中的分布系數(shù)t=2.1

                                                (D.16)

D．2．7

    各單次采樣量的粒子濃度低于規(guī)定的等級(jí)限值（D.2.2）。

    但是，95%置信上限的計(jì)算表明該潔凈室懸浮粒子潔凈度不符合規(guī)定的級(jí)別。

    本示例說(shuō)明按95%UCL的計(jì)算結(jié)果，一個(gè)單采樣的界外低粒子濃度（即采樣點(diǎn)5）所造成的影響。

    由于空氣潔凈度的等級(jí)之不相符性是因采用了95%UCL，并由一個(gè)單次采樣的低粒子濃度造成，可按照B.6.2中的程序確定該不相符性是否可以作廢不計(jì)。